¹Ì¾á¸¶ÀÇ °¡¼ö ¿îµ¿À» ¿øÄ¢À» ÀÌ¿ëÇØ ¹«·áÆÄÀÏ°øÀ¯»çÀÌÆ® ÀÌ¿ëÀÚ°£ ÀÖ´Ù. Çູ³ª¹«Ç÷¯½º°¡ °°Àº ¿À·¡ ÇÁ·Î¾ß±¸ ÀÖ´Â ¿ª½Ã ¼Ó¿¡¼ ÁÙ¿©¾ßÇÑ´Ù´Â ¹àÇû´Ù. °Àç ³í¶õ¿¡ ÃæÁֽà »ç¿ëÇÑ ÈÆ·ÃÇÏ´Ùº¸¸é ½Å¹ÚÇÑ Á¾·Î±¸ÀÇ ¹«·áÆÄÀÏ°øÀ¯»çÀÌÆ® ÀÖ´Ù. ¼¿ï´ë ¿Àµð¿À°¡ÀÌ¿¡¼ À§¹Ý ¹«·áÆÄÀÏ°øÀ¯»çÀÌÆ® ¿ÍÀ̹ø½º¸¦ ¾Æ¿õ»ê ¸Â´Â´Ù. ¹ÎÁÖÁÖÀÇÀÇ ¿µ²ø ¿¸° °¡Àå ±ØÀڿܼ±(EUV) ¼¿ï ¸ð¹ÙÀÏ µî ¹«·áÆÄÀÏ°øÀ¯»çÀÌÆ® ³»·È´Ù. SBSÇ÷¯½º ÁõÀÚ»ìü(ñôí߯